一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术 研究 所微电子专用设备研发团队在国内研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中紫外照明技术，结合光敏玻璃材料，实现基于光敏玻璃基底的微细结构直接加工，能够极大简化工艺流程，将有力促进光敏玻璃微细结构的光刻工艺技术“革命”，目前在国内尚未见有此类产品成功研发的报道。
光刻设备是用于微细结构加工的核心设备，在微电子、生物、医学和光学等领域得到全面应用。由于光刻工艺的限制，原有光刻设备大多是针对光刻胶曝光进行技术研发。而针对玻璃基底的微细结构加工具有特殊性：光敏玻璃光谱敏感特性不同于光刻胶、微细结构深宽比大和完全非接触曝光。近年来，针对玻璃基底的微细加工技术愈发重要，在微流控芯片、微光学元件以及OLED显示屏等新型微细结构的加工中需求迫切，也是国内外光刻设备研发的重要方向之一。因此，光电技术 研究 所微电子专用设备研发团队联合国内外科研机构，开展了汞灯光源、大口径高精度反射镜、中紫外镀膜和间隙测量等技术研发，成功提高了汞灯光源中紫外光谱能量，通过反射式光路结构保证光能利用率和准直性，精密间隙测量和控制技术实现非接触曝光，并进行了光敏玻璃直接光刻实验，实现了玻璃基底高分辨、高深宽比、大面积微细结构的直接光刻工艺。
该设备的成功研制，是光刻设备研发与光刻工艺应用结合的产物，将促进光刻工艺的革命性改进，符合国际光刻设备 研究 发展趋势，也使得我国在新型直接光刻设备研发中抢占先机。
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